Klein, kleiner, kleinst: de micro-Coriolis massflowsensor
BL100 technologische doorbraak op het gebied van Coriolis-massflowmeting De BL100 is een Coriolis-instrument dat op de MEMS-technologie gebaseerd is. Wereldwijd is op dit moment geen enkel andere Coriolis-sensor in staat om zulke kleine flows te meten als deze sensor. MEMS is trouwens de afkorting van Micro Electro Mechanical System. En dit unieke Coriolis-instrument is sinds kort beschikbaar voor praktijktests.
MEMS-technologie
De MEMS-technologie is vergelijkbaar met de halfgeleidertechnologie, maar wordt voor sensoren en mechanische miniatuurcomponenten gebruikt en niet voor elektronische chips. Tot de bekende applicaties waarvoor de MEMS-technologie wordt gebruikt, behoren sensoren in airbags, inkjetprinterkoppen, druksensoren, microfoons, kompassen, acceleratiemeters, gyroscopen en time-base oscillatoren. Ook een smartphone bestaat uit talloze MEMS-componenten. Daarnaast worden thermische flowsensoren ook veel in airconditionings gebruikt.
MEMS-chips worden gemaakt van wafers. Wafers zijn uiterst platte, ronde discs die